Dhyana 9KTDI Pro
高速TDI-sCMOS相機(jī)
- 600 kHz @ 9K
- 256 級(jí)TDI
- 180 nm ~ 1100 nm
- 風(fēng)冷／水冷
- CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+
產(chǎn)品介紹
Dhyana 9KTDI Pro（簡(jiǎn)稱：D 9KTDI Pro）背照式TDI 相機(jī)基于先進(jìn)的sCMOS 背照式減薄和TDI 時(shí)間積分技術(shù)，采用可靠穩(wěn)定的制冷封裝技術(shù)，覆蓋從180 nm 紫外到1100 nm 近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測(cè)能力，旨在為半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)、半導(dǎo)體材料缺陷檢測(cè)、基因測(cè)序等應(yīng)用提供更高效率、更穩(wěn)定的檢測(cè)支持。
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180nm-1100nm 寬光譜
Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技術(shù)，已驗(yàn)證的響應(yīng)波段可覆蓋180 nm - 1100 nm區(qū)域。256級(jí) TDI技術(shù)可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設(shè)備檢測(cè)精度。
-寬光譜QE曲線-240307-ENCN_ENCN.png)
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600 kHz @ 9K 超高速線掃
Dhyana 9KTDI Pro 配備CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口，其傳輸效率相當(dāng)于背照式 CCD-TDI 相機(jī)的54倍，顯著提升設(shè)備的檢測(cè)效率。Dhyana 9KTDI Pro的相機(jī)行頻最高可達(dá) 9K @ 600 kHz，為行業(yè)提供快速的多級(jí)TDI線掃描解決方案。
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穩(wěn)定可靠制冷降噪技術(shù)
高端挑戰(zhàn)性檢測(cè)應(yīng)用中，對(duì)缺陷的檢測(cè)要求非常高，即使是1~2DN的灰階抖動(dòng)都會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。鑫圖的制冷技術(shù)經(jīng)過市場(chǎng)的長(zhǎng)期驗(yàn)證，不僅能夠?qū)Ω泄庑酒瑢?shí)行精準(zhǔn)的低溫控制，還能使相機(jī)在長(zhǎng)時(shí)間工作中保持±0.5℃恒定狀態(tài)。如圖所示，鑫圖相機(jī)制冷后具有更均一的成像背景和更低的噪聲水平，可以為高精度缺陷檢測(cè)提供更精準(zhǔn)可靠的數(shù)據(jù)支撐。
技術(shù)參數(shù) >
- 型號(hào): Dhyana 9KTDI Pro
- 傳感器類型: BSI sCMOS TDI
- 量子效率: 82% @ 550 nm, 50% @ 350 nm, 38% @ 800 nm
- 彩色 / 黑白: 黑白
- 光譜范圍: 180nm-1100nm
- 有效像素: 9072 ( H ) x 256 ( V )
- 最大線速: 299 kHZ @ 12 bit, 600 kHZ @ 10 bit, 600 kHZ @ 8 bit
- 像素尺寸: 5 μm x 5 μm
- 位深: 12 bit, 10 bit, 8 bit
- 讀出噪聲: 6.2 e- @ 12 bit, 10.5 e- @ 10 bit
- 觸發(fā)模式: 觸發(fā)輸入, 掃描方向輸入
- 觸發(fā)輸出: Strobe out
- 數(shù)據(jù)接口: QSFP+
- 光學(xué)接口: M72 / 用戶定制
- 電源功耗: 12 V / 8 A，< 75 W
- 制冷方式: 風(fēng)冷，水冷
- 備注: 如需了解更多產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)，請(qǐng)下載產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書查看
應(yīng)用方向 >
下載 >
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軟件 - SamplePro(TDIPro)_V1.1.12.0
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Dhyana 9KTDI Pro 技術(shù)規(guī)格書
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Dhyana 9KTDI Pro 結(jié)構(gòu)圖紙
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驅(qū)動(dòng) - KAYA 采集卡驅(qū)動(dòng)
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驅(qū)動(dòng) - eGrabber
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驅(qū)動(dòng) - Tucsen Driver
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Dhyana 9KTDI Pro 產(chǎn)品手冊(cè)
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